特許
J-GLOBAL ID：201603003598570221

水晶振動子の製造方法

発明者：
斎藤 純

斎藤 純 について


出願人/特許権者：
シチズンファインデバイス株式会社

シチズンファインデバイス株式会社 について

, 
シチズン時計株式会社

シチズン時計株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-070050
公開番号（公開出願番号）：特開2014-195134
特許番号：特許第6018962号
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ウエットエッチング法で、水晶ウエハーに複数の水晶振動子を形成する水晶振動子の製造方法であって、前記水晶振動子は、少なくとも一つの凹部を備え、前記水晶ウエハー上には、複数の前記水晶振動子とともに寸法測定部が設けられ、前記寸法測定部には、上層のAu膜と下層のCr膜とからなる耐蝕膜が設けられ、前記水晶振動子の外形を形成する外形エッチング工程と、前記水晶振動子に前記凹部を形成する凹部エッチング工程とを備え、前記凹部エッチング工程の前に、前記寸法測定部に設けられた前記Cr膜上の前記Au膜を除去する工程と、前記凹部エッチング工程における凹部エッチング開始時の前記寸法測定部の前記Cr膜の寸法を測定する工程と、前記凹部エッチング工程における所定時間経過後の前記寸法測定部の前記Cr膜の寸法を測定する工程と、前記凹部エッチング開始時と前記凹部エッチング工程における前記所定時間経過後の前記寸法測定部の前記Cr膜の寸法変化量から、エッチングレートを算出し、凹部エッチング時間を決定する工程とを有すること特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (1件)：
H03H 3/02 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H03H 3/02 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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