特許
J-GLOBAL ID：200903016396881739

水晶振動子の製造方法

発明者：
山本 泉

山本 泉 について


出願人/特許権者：
シチズン時計株式会社

シチズン時計株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-083752
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277483
出願日： 2004年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 水晶振動子の脚断面の凸部の大きさのバラツキに起因する、周波数バラツキを低減する。【解決手段】 水晶振動子の製造方法を、水晶ウエハのエッチングを行う前に、水晶振動子の外形形状のパターンが形成された金属膜の寸法を測定する工程と、測定された金属膜の寸法を水晶ウエハのエッチング時間と測定された金属膜の寸法および所定の周波数とを結ぶ数式に代入することによってエッチング時間を求める工程と、水晶ウエハをエッチングする時間を求められたエッチング時間として水晶ウエハをエッチングする工程を含むものとした。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
板状の水晶ウエハの表裏に形成された金属膜を、フォトリソグラフィーにより水晶振動子の外形形状となるパターンに形成し、前記金属膜をマスクにして前記水晶ウエハをエッチングすることにより、所定の周波数を有する前記水晶振動子を製造する方法において、 予め製造した複数の試料用水晶振動子に基づいて、前記水晶振動子の所定部位の寸法と周波数との関係を示す第一の相関関係と、前記所定部位のエッチングによる減少量と周波数との関係を示す第二の相関関係と、エッチング時間と前記所定部位のエッチングによる減少量との関係を示す第三の相関関係とをそれぞれ求める工程と、前記水晶振動子の所定部位に対応する前記金属膜の寸法を測定する工程と、所定の周波数と前記金属膜の寸法とから前記第一、第二、第三の相関関係を用いて前記エッチングに要する時間を算出する工程と、前記エッチング時間に基づいて前記水晶ウエハをエッチングする工程とを有する水晶振動子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H3/02 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02
FI (4件)：
H03H3/02 C ,  H03H3/02 D ,  H03H3/04 B ,  H03H9/02 M
Fターム (6件)：
5J108AA02 ,  5J108CC06 ,  5J108KK01 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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