特許

J-GLOBAL ID：201603004536466610

X線トポグラフィ装置

発明者： 表 和彦 ,  森川 恵一 ,  上ヱ地 義徳 ,  土屋 政博 ,  藤村 健 ,  禧久 敦徳
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-246533
公開番号（公開出願番号）：特開2015-105831
特許番号：特許第6025211号
出願日： 2013年11月28日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料の内部構造に対応してX線を用いて2次元画像を形成するX線トポグラフィ装置において、 前記試料を照射するX線を発生するX線源と、 前記試料と前記X線源との間に設けられた多層膜ミラーと、 前記試料と前記X線源との間に設けられておりX線の幅を規制するスリットを備えたスリット部材と、 前記試料から出たX線を2次元的に検出する2次元X線検出手段と、 前記試料と当該試料を照射するX線とを相対的にステップ的に移動させることにより、前記試料を複数のステップ位置へ順次に移動させる試料移動手段と、 を有しており、 前記X線源は微小焦点からX線を発生し、 前記多層膜ミラーは、前記X線源から出たX線から単色で平行で強度の強いX線を形成し、 前記多層膜ミラーがX線を平行化する方向は前記スリット部材のスリットの幅方向であり、 前記試料移動手段によって移動する試料のステップ幅は前記スリットの幅よりも小さくなっており、 前記微小焦点の大きさの値、前記スリットの幅の値、及び前記多層膜ミラーから出射されるX線の強度の値の各値の組み合わせは、前記2次元X線検出手段が1分以下の所定時間内でX線を受光したときに得られるX線画像のコントラストを、当該X線画像を観察する上で十分なコントラストとすることができる値の組み合わせである ことを特徴とするX線トポグラフィ装置。

IPC (3件)：

G01N 23/20 ( 200 6.01) ,  G01N 23/205 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 23/20 310 ,  G01N 23/205 ,  H01L 21/66 N

引用特許：

出願人引用 (4件)

• X線トポグラフィシステム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-549898   出願人：ビードサイエンティフィックインストルメンツリミテッド
• 特開平3-075548
  
• X線トポグラフィ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-083680   出願人：株式会社リガク
• X線トポグラフィ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-000932   出願人：株式会社リガク