特許
J-GLOBAL ID：200903072030510280
X線トポグラフィシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 畑中 芳実
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
, 鈴木 健之
, 磯田 志郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-549898
公開番号（公開出願番号）：特表2005-512050
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【解決手段】 X線トポグラフィシステムは、シリコンウェーハなどの試料の限られた領域に当たるX線ビームを生成するX線発生器を含む。ソリッドステート検出器は、試料を透過した後のビームまたは試料で反射した後のビームを遮るように位置決めされる。検出器は、前記限られた領域のデジタル画像を生成するためにビーム領域と適合する画素アレイを有する。X線発生器と試料の間の相対的段階運動によって一連のデジタル画像が作成され、それらが組み合わされる。任意的に選択される実施形態においては、画像の重複を回避するために平行ビームを生成するX線光学素子が介在されるか、画像重複の影響がソフトウェアによって除去される。
請求項（抜粋）：
試料位置に向けられたX線のビームを生成するX線発生器と、
試料位置にある試料によって屈折されたX線を受けるように位置決めされた検出器とを含み、
検出器が、検出器におけるビーム領域に対応する画素のアレイを有する電子X線検出器を含むX線トポグラフィシステム。
IPC (3件)：
G01N23/04
, G01N23/203
, H01L21/66
G01N23/04
, G01N23/203
, H01L21/66 N
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106CB19
