特許
J-GLOBAL ID：201303076661787044
X線トポグラフィ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-083680
公開番号（公開出願番号）：特開2013-213720
出願日： 2012年04月02日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】試料に入射させる所望の特性X線をX線源が放射するX線より分離させるとともに、試料に入射し回折に寄与する当該所望の特性X線の照射範囲を広くすることができるX線トポグラフィ装置の提供。【解決手段】所定の特性X線を含むX線を微小焦点より放射する、X線源と、前記所定の特性X線に対応する傾斜格子面間隔の多層膜ミラーを含むとともに、該多層膜ミラーが反射するX線を試料へ入射させる、光学系と、前記試料より発生する回折X線を検出する、X線検出器と、を備える、X線トポグラフィ装置であって、前記多層膜ミラーは断面が放物線となる湾曲反射面を有し、前記湾曲反射面の焦点に前記点X線源の前記微小焦点が配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の特性X線を含むX線を微小焦点より放射する、X線源と、
前記所定の特性X線に対応する傾斜格子面間隔の多層膜ミラーを含むとともに、該多層膜ミラーが反射するX線を試料へ入射させる、光学系と、
前記試料より発生する回折X線を検出する、X線検出器と、
を備える、X線トポグラフィ装置であって、
前記多層膜ミラーは断面が放物線となる湾曲反射面を有し、前記湾曲反射面の焦点に前記点X線源の前記微小焦点が配置される、
ことを特徴とする、X線トポグラフィ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001EA01
, 2G001EA02
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001GA13
, 2G001KA03
, 2G001PA11
, 2G001PA12
, 2G001PA13
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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