特許
J-GLOBAL ID:201603004791696980
光学センサ、光学検査装置、及び光学特性検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
立石 篤司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-004444
公開番号(公開出願番号):特開2016-130669
出願日: 2015年01月13日
公開日(公表日): 2016年07月21日
要約:
【課題】 被検体への装着性を低下させず、かつ高分解能を得ることができる。【解決手段】 被検体の同一位置に非平行の複数の光を照射する光源モジュールLMを少なくとも1つ含む照射系と、該照射系から照射され被検体内を伝播した光を検出する検出系と、を備え、光源モジュールLMは、複数の発光部を有する面発光レーザアレイと、面発光レーザアレイからの光の光路上に配置され、該光を照射用の光と光量モニタ用の光とに分離する光分離素子と、光量モニタ用の光の光路上に配置された受光素子と、を含む。この場合、被検体への装着性を低下させず、かつ高分解能を得ることができる。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被検体の同一位置に非平行の複数の光を照射する光照射器を少なくとも1つ含む照射系と、
前記照射系から照射され前記被検体内を伝播した光を検出する検出系と、を備え、
前記光照射器は、
複数の発光部を有する面発光レーザアレイと、
前記面発光レーザアレイからの光の光路上に配置され、該光を照射用の光と光量モニタ用の光とに分離する光分離素子と、
前記光量モニタ用の光の光路上に配置された受光素子と、を含むことを特徴とする光学センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/17 610
, G01N21/01 Z
Fターム (18件):
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059EE01
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG03
, 2G059GG05
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM03
, 2G059MM09
, 2G059PP04
引用特許:
審査官引用 (11件)
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生体光計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-014436
出願人:株式会社日立製作所
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光半導体パッケージ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-036525
出願人:富士ゼロックス株式会社
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液体中の微粒子測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-090936
出願人:株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
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