特許
J-GLOBAL ID：201603006130619150
ガスバリア性フィルムの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴木 史朗
, 志賀 正武
, 高橋 詔男
, 伏見 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054681
公開番号（公開出願番号）：特開2013-188870
特許番号：特許第5990944号
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 成膜チャンバー内に窒化珪素と珪素とを含んでN/Si組成比が1.23以下、重量密度が0.50g/cm3以上の蒸着材料とプラスチック基材とを対峙させ、前記成膜チャンバー内の圧力が5.0×10-1Pa以下とし、真空蒸着法を用いて前記蒸着材料を加熱蒸発させ、前記プラスチック基材の片面又は両面に窒化酸化珪素膜を形成することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。
IPC (2件)：
B32B 9/00 ( 200 6.01)
, C23C 14/24 ( 200 6.01)
B32B 9/00 A
, C23C 14/24 N
