特許
J-GLOBAL ID：200903050382362449

透明ガスバリア性フィルムの製造方法、透明ガスバリア性フィルムおよび透明ガスバリア性フィルムの製造装置

発明者：
寺地 誠喜

寺地 誠喜 について

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佐々 和明

佐々 和明 について

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河村 和典

河村 和典 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (1件)： 辻丸 光一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-055820
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230115
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア性フィルムを効率良く製造することが可能な透明ガスバリア性フィルムの製造方法を提供する。 【解決手段】 同一の真空槽12を用いて、透明基材フィルム18の片面または両面にガスバリア性有機薄膜層およびガスバリア性無機薄膜層を形成する透明ガスバリア性フィルムの製造方法において、前記ガスバリア性有機薄膜層の形成は、前記ガスバリア性有機薄膜層形成材料を気化して発生した蒸気を前記透明基材フィルム1に接触させて塗膜を形成し、前記塗膜を硬化して前記透明ガスバリア性有機薄膜層を形成することで実施され、前記塗膜形成を真空槽12内で実施し、前記塗膜形成において、前記真空槽12内の圧力よりも低い雰囲気圧力条件下で前記蒸気を前記透明基材フィルム18に接触させる。前記真空槽12内の圧力よりも低い雰囲気条件下は、例えば、真空槽12の真空引きとは別に設けた真空ポンプ19により実現する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明基材フィルム上にガスバリア性有機薄膜層を形成する工程および前記透明基材フィルム上にガスバリア性無機薄膜層を形成する工程を有し、前記両工程が同一の真空槽を用いて実施される透明ガスバリア性フィルムの製造方法であって、前記ガスバリア性有機薄膜層を形成する工程が、前記ガスバリア性有機薄膜層形成材料を気化して発生した蒸気を前記透明基材フィルムに接触させて塗膜を形成する塗膜形成工程と、前記塗膜を硬化して前記透明ガスバリア性有機薄膜層を形成する塗膜硬化工程とを有し、前記塗膜形成工程が前記真空槽内で実施され、前記塗膜形成工程において、前記真空槽内の圧力よりも低い雰囲気圧力条件下で前記蒸気を前記透明基材フィルムに接触させることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。
IPC (7件)：
B32B 27/06 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/20 ,  B32B 37/00 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/50 ,  B05D 1/02
FI (7件)：
B32B27/06 ,  B32B9/00 A ,  C23C14/20 B ,  B32B31/00 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  B05D1/02 Z
Fターム (69件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC23 ,  3K107CC27 ,  3K107DD19 ,  3K107EE45 ,  3K107FF16 ,  3K107GG28 ,  4D075AA76 ,  4D075AA84 ,  4D075AE03 ,  4D075BB42Z ,  4D075BB46Z ,  4D075BB56Y ,  4D075BB56Z ,  4D075BB85Y ,  4D075BB85Z ,  4D075BB93Y ,  4D075BB93Z ,  4D075CA02 ,  4D075CA42 ,  4D075CB06 ,  4D075DA04 ,  4D075DB36 ,  4D075DB43 ,  4D075DB47 ,  4D075DB48 ,  4D075DB55 ,  4D075DC24 ,  4D075EA21 ,  4D075EB22 ,  4D075EB33 ,  4F100AA01C ,  4F100AA20 ,  4F100AD05 ,  4F100AK01A ,  4F100AK01B ,  4F100AK25 ,  4F100AK42 ,  4F100BA05 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100CA30 ,  4F100EH461 ,  4F100EH662 ,  4F100EJ081 ,  4F100EJ241 ,  4F100EJ541 ,  4F100GB41 ,  4F100JB14B ,  4F100JD02B ,  4F100JD02C ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JN01A ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BB04 ,  4K029BC08 ,  4K029CA02 ,  4K029CA09 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21 ,  4K029FA07 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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