特許

J-GLOBAL ID：201603006403935521

真空ポンプ

発明者： アレクサンドル・シリノフ ,  トビアス・シュトール ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー ,  ヤン・ホフマン
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (5件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  今村 良太 ,  篠原 淳司 ,  清田 栄章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022216
公開番号（公開出願番号）：特開2013-174238
特許番号：特許第6027455号
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 真空ポンプであって、 少なくとも1つの分子ポンプ段(12)を備え、 前記分子ポンプ段(12)は、該分子ポンプ段(12)のポンプ作用面(50)を形成するロータ部材(34)を備え、 前記真空ポンプは、さらに、少なくとも1つのサイドチャネルポンプ段(18)を備え、 前記サイドチャネルポンプ段(18)は、前記分子ポンプ段(12)の下流側に配置されるとともに、複数のロータ要素(48)を備え、 前記サイドチャネルポンプ段(18)のロータ要素(48)は、前記分子ポンプ段(12)の前記ロータ部材(34)によって支持される 真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 真空ポンプ排出システム及び真空ポンプ排出装置の作動方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-559876   出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー
• 複合真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-089466   出願人：エドワーズリミテッド
• ターボ形真空排気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-117146   出願人：株式会社島津製作所
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-109856   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー