複合真空ポンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：熊倉禎男 , 宍戸嘉一 , 弟子丸健 , 井野砂里
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-089466
公開番号（公開出願番号）：特開2011-137475
出願日： 2011年04月13日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】真空ポンプは、少なくとも3つの第1排気部分(106)、第2排気部分(108)、第3排気部分(110)を含み、第3排気部分(110)は、第1及び第2排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構(112)及び再生排気機構(114)からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素(120)は、再生排気機構のロータ要素(122)を取り囲む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複合多ポート真空ポンプ(110)であって、駆動シャフト(104)が設けられている多構成要素本体(102)と、少なくとも3つの排気部分(106)、(108)、(110)と、を含み、第1排気部分(106)は、ターボ分子段組(106)からなり、該ターボ分子段組は、ロータブレード(107a)及びステータブレード(107b)からなり、ロータブレード(107a)は駆動シャフト(104)に取り付けられ、第2排気部分(108)は、第1排気部分の下流に配置され、且つロータブレード(109a)及びロータステータ(109b)からなるターボ分子段組(108)からなり、ロータブレード(109a)は駆動シャフト(104)に取り付けられ、第3排気部分(110)は、第1及び第2排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構(112)及び再生排気機構(114)からなり、前記ホルウィック分子ドラッグ排気機構は、回転シリンダ(116)及びそれに対応する環状ステータ(118a)、(118b)からなり、環状ステータは、該環状ステータに形成された螺旋チャンネルを有し、ホルウィック分子ドラッグ排気機構は、ロータ要素(120)に取り付けられた少なくとも2つの排気段を更に含み、ロータ要素(120)は、駆動シャフト(104)に配置された且つ駆動シャフト(104)と直交するディスク(120)の形態をなし、再生排気機構(114)は、ホルウィック分子ドラッグ排気機構(112)のディスク(120)の片側に設けられた少なくとも2つの同心の環状列のロータ(122)の形態をなした複数のロータを含み、ロータ(122)の軸線方向位置は同じであり、分子ドラッグ排気機構(112)のステータ(118b)は、再生排気機構(114)のステータを形成し、ステータ(118b)は、該ステータに形成され、ロータ(122)が回転する環状チャンネル(124a)、(124b)を有し、再生排気機構(114)のステータ(122)及び分子ドラッグ排気機構のロータ(118b)は分子ドラッグ排気機構(112)の回転シリンダ(116)によって取り囲まれ、再生排気機構(114)の下流にはポンプ出口(126)があり、ポンプ(100)は少なくとも2つの入口(130)、(132)を含み、入口(130)は全ての排気部分の上流に配置され、入口(132)は、第1排気部分(106)と第2排気部分(108)の段間に配置され、使用中、入口(130)を通る流体は、第1排気部分(106)、第2排気部分(108)及び第3排気部分(110)を通り、ポンプ出口(126)を経てポンプ(100)から出て行き、入口(132)を通る流体は、ポンプ(100)に入り、第2排気部分(108)及び第3排気部分(110)を通り、ポンプ出口(126)を経てポンプ(100)から出て行く、複合多ポート真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04

FI (1件)：

F04D19/04 D

Fターム (8件)：

3H131AA01 , 3H131AA02 , 3H131AA04 , 3H131BA00 , 3H131CA01 , 3H131CA02 , 3H131CA31 , 3H131CA36

引用特許：

審査官引用 (6件)

多段ガス吸込装置用真空ポンプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-324071 出願人：バルツェルス-プファイファー・ゲーエムベーハー
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-138047 出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-151908 出願人：富士通株式会社

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