特許
J-GLOBAL ID:201603007192166417

圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-094817
公開番号(公開出願番号):特開2014-216581
特許番号:特許第6034237号
出願日: 2013年04月27日
公開日(公表日): 2014年11月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 振動板と、 該振動板の上に設けられた共通電極と、 複数の貫通孔と、該貫通孔の内部に配置された接続導体と、を有して、一方主面が前記共通電極側に位置するように前記共通電極の上に設けられた圧電セラミック層と、 該圧電セラミック層の他方主面における、前記共通電極と対向する領域に設けられた複数の個別電極と、 前記圧電セラミック層の前記他方主面における、前記貫通孔の周囲に設けられて、前記接続導体を介して前記共通電極に電気的に接続された、複数の共通表面電極と、 を有しており、 平面視したときに、長手方向の両端に位置する略平行な一対の辺を有する形状を有しており、 前記複数の貫通孔は、前記一対の辺の近傍のみに、前記一対の辺のそれぞれに沿って設けられており、 前記共通表面電極における前記一対の辺のうち近接する方の辺に近い側に、且つ該辺に沿って並んで配置された前記貫通孔の内部に配置された前記接続導体によって、前記共通電極と前記共通表面電極とが電気的に接続されている ことを特徴とする圧電アクチュエータ基板。
IPC (3件):
H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  B41J 2/14 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01L 41/047 ,  B41J 2/14 301 ,  H01L 41/09
引用特許:
審査官引用 (4件)
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