特許
J-GLOBAL ID：201603007376105461
評価方法及び装置、加工方法、並びに露光システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
川北 喜十郎
, 藤田 正広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-553218
特許番号：特許第6004008号
出願日： 2013年12月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1及び第2加工条件を含む複数の加工条件のもとでの加工により設けられた構造体を有する基板を照明光で照明する照明部と、
前記照明光により前記基板の被加工面から発生する光を検出する検出部と、
複数の回折条件のもとで前記検出部により得られた検出結果を演算し、前記基板の加工時の前記第1加工条件または前記第2の加工条件を推定するための算出結果を出力する演算部と、
前記照明部の照明条件と前記検出部の検出条件との少なくとも一方が異なる複数の評価条件のもとで前記検出部により得られた検出結果に基づいて前記基板の加工時の前記第1加工条件と前記第2加工条件との少なくとも一方を推定する推定部と、
を備え、
前記検出部は、前記基板の前記被加工面からの反射または回折光を検出し、
前記複数の評価条件は、回折条件が異なる評価装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G01N 21/956 ( 200 6.01)
G03F 7/20 521
, G01N 21/956 A
