成膜装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡辺望稔 , 三和晴子 , 伊東秀明 , 三橋史生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-117028
公開番号（公開出願番号）：特開2014-234539
特許番号：特許第6026356号
出願日： 2013年06月03日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】化学浴析出法を用いて被成膜材に膜を成膜する成膜装置であって、反応溶液が溜められ、前記被成膜材を反応溶液に浸漬させて前記被成膜材に前記膜を成膜するための反応槽と、前記反応槽の下部に設けられ、前記反応槽内に前記反応溶液を供給する供給管と、前記供給管の一方の端部に設けられ、前記反応溶液を供給する供給部と、前記供給管の他方の端部に設けられ、前記反応溶液から泡を取り除く泡抜部とを有し、前記供給管は、前記反応溶液を前記反応槽内に供給するための、複数の穴が形成されており、前記穴は前記反応槽の底に向けて配置されていることを特徴とする成膜装置。

IPC (1件)：