特許
J-GLOBAL ID：201603008432686487

赤外線固体撮像素子の検査装置および検査方法

発明者：
本 多 浩 大

本 多 浩 大 について

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石 井 浩 一

石 井 浩 一 について

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舟 木 英 之

舟 木 英 之 について

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佐々木 啓 太

佐々木 啓 太 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-248682
公開番号（公開出願番号）：特開2014-096773
特許番号：特許第6006618号
出願日： 2012年11月12日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 入射される赤外線および供給される定電流の大きさに応じた電気信号を発生する少なくとも1個の赤外線検出画素を備えている赤外線固体撮像素子の検査装置であって、 定電流の大きさを制御し、大きさの異なる第1および第2定電流をそれぞれ前記赤外線検出画素に供給する電流制御部と、 前記第1および第2定電流が前記赤外線検出画素に供給される時間を制御する定電流供給時間制御部と、 前記第1および第2定電流が前記赤外線検出画素にそれぞれ供給されたときの前記赤外線検出画素からの第1および第2電気信号をそれぞれ第1および第2デジタル信号に変換するAD変換器と、 前記第1デジタル信号と前記第2デジタル信号との差を演算する減算部と、 前記減算部によって演算された前記差の絶対値に基づいて前記赤外線検出画素が欠陥か否かを決定する決定部と、 備えていることを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
H04N 5/33 ( 200 6.01) ,  H04N 5/367 ( 201 1.01) ,  H01L 27/144 ( 200 6.01) ,  H01L 27/14 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H04N 5/33 ,  H04N 5/335 670 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 Z
引用特許：
出願人引用 (6件)
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