光ビーム測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-113703
公開番号（公開出願番号）：特開2016-014657
出願日： 2015年06月04日
公開日（公表日）： 2016年01月28日
要約：

【課題】試料からの反射光を確実に捉えることのできる光ビーム測定装置を提供する。【解決手段】光ビーム測定装置1は、第1傾斜機構131と第2傾斜機構132とを有する光軸傾斜機構13を備える。光ビーム光源部112から照射される照射光の光軸A1について、第1傾斜機構131は第1傾斜軸T1を中心に光軸A1を傾斜させ、第2傾斜機構132は第2傾斜軸T2を中心に光軸A1を傾斜させる。光ビーム測定装置1は、半導体チップCからの反射光が傾いていても、光軸傾斜機構13の作用により半導体チップCからの反射光を捉えことができるため、確実に測定や検査を行うことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光ビームを対象物に照射する光ビーム光源部と、該対象物の表面で反射した光ビームを検出する光ビーム検出部とを有する光ビーム測定装置において、前記照射光ビームの光軸とは平行でない面内の第1傾斜軸を中心に前記光ビーム光源部を傾斜させる第1光軸傾斜機構と、前記第1傾斜軸と平行でない前記面内の第2傾斜軸を中心に前記光ビーム光源部を傾斜させる第2光軸傾斜機構とを有する光軸傾斜機構を備えることを特徴とする光ビーム測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01N 21/84 , G01B 11/26 , G02B 21/00

FI (4件)：

G01B11/24 K , G01N21/84 Z , G01B11/26 H , G02B21/00

Fターム (46件)：

2F065AA03 , 2F065AA17 , 2F065AA19 , 2F065AA35 , 2F065AA37 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD04 , 2F065DD05 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065GG24 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065NN02 , 2F065NN20 , 2F065PP03 , 2F065PP05 , 2F065QQ06 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065TT02 , 2F065TT08 , 2G051AA51 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051BB20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051CC11 , 2G051CD10 , 2H052AC04 , 2H052AC09 , 2H052AC14 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AD07 , 2H052AF02 , 2H052AF14

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-140887
光軸傾き調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-092640 出願人：株式会社東芝
光ビーム調整方法及び光ビーム調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-208347 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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