研磨装置の計測用窓構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：弁護士法人クレオ国際法律特許事務所 , 西脇民雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097677
公開番号（公開出願番号）：特開2013-223908
特許番号：特許第5917994号
出願日： 2012年04月23日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄板状のワークを研磨する研磨装置において、前記ワークの板厚を計測するために定盤の表裏を貫通する計測孔に窓部材を取付けて形成される計測用窓構造であって、前記窓部材は、前記計測孔に挿入可能な筒状部と、前記筒状部の一端に設けられる窓板と、前記筒状部の他端に設けられる固定部とからなり、前記定盤の表面側に前記固定部が固定されるとともに、前記定盤の表面側において、前記定盤の表面に対する前記固定部の取付け角度を調節し、前記ワークの表面と前記窓板の対向面とのなす角度を相対的に変更することで測定光の透過損失を低減させるための角度調整機構を有することを特徴とする計測用窓構造。

IPC (3件)：