基板支持用支持ユニット

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人大島特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505066
特許番号：特許第5981986号
出願日： 2012年04月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定間隔を隔てて互いに平行に配置された一対のクロス支持バーと、前記一対のクロス支持バーを支持する支持体に取り付けられ、前記一対のクロス支持バーの両端部をそれぞれ支持する一対の支持ブラケットと、前記一対のクロス支持バーにより支持されたボートとを備えており、前記ボートが、所定間隔を隔てて互いに平行に配置され、かつ両端部が前記一対のクロス支持バーによってそれぞれ支持された一対の外側部材、前記外側部材の直径よりも小さい直径を有し、前記各外側部材上に該部材に対して平行に配置されかつ結合された、基板の枠部分を支持するための一対の外側支持バー、前記一対の外側部材を互いに連結する複数の連結バー及び、前記連結バーに設けられた、前記基板を支持するための複数の支持ピンを含むことを特徴とする基板支持用支持ユニット。

IPC (1件)：