特許
J-GLOBAL ID：201603011238188760
電気機械変換素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000950
公開番号（公開出願番号）：特開2013-077793
特許番号：特許第5974485号
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年04月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電極上の所定の領域に複合酸化物膜を形成する複合酸化物膜形成工程と、
該電極上の前記複合酸化物膜形成工程による該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる疎水化工程と、
該電極上の前記疎水化工程による該自己組織化単分子膜が形成されていない領域に該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程により該ゾルゲル液が塗布された該電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる仮焼工程と、
前記仮焼工程により該複合酸化物が生成した該電極を酸又は酸の水溶液で洗浄する酸洗浄工程と、
前記酸洗浄工程により該酸又は酸の水溶液で洗浄された該電極上の該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる酸洗浄後疎水化工程と、
該電極上の前記酸洗浄後疎水化工程による該自己組織化単分子膜が形成されていない領域に、該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する酸洗浄後塗布工程と、
前記酸洗浄後塗布工程により該ゾルゲル液が塗布された該電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる酸洗浄後仮焼工程を有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 41/331 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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