粒子存在比率算出方法及び粒子結晶サイズ算出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小池晃 , 伊賀誠司 , 藤井稔也 , 野口信博 , 祐成篤哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-005946
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145188
特許番号：特許第5903900号
出願日： 2012年01月16日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線回折によって、粗大粒子及び微細粒子を含有する被検試料中の該粗大粒子の存在比率を算出する粒子存在比率算出方法であって、前記被検試料の任意の回折面のロッキングカーブを測定し、前記ロッキングカーブにおいて、前記粗大粒子由来の回折線が急唆な強度分布となり、又は、前記微細粒子由来の回折線が緩やかな或いは略平坦な強度分布となることにより、該粗大粒子を特定し、前記ロッキングカーブの全面積強度に対する該ロッキングカーブにおける前記粗大粒子由来の回折線の面積強度を該粗大粒子の存在比率として算出することを特徴とする粒子存在比率算出方法。

IPC (1件)：