特許
J-GLOBAL ID:201603012250118588
ガスバリアフィルム積層体とそれを用いた電子部品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
宮川 貞二
, 金子 美代子
, 柴田 茂夫
, 金井 俊幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-032989
公開番号(公開出願番号):特開2016-155241
出願日: 2015年02月23日
公開日(公表日): 2016年09月01日
要約:
【課題】プラズマCVD法によりガスバリア膜層を成膜したガスバリアフィルム積層体であって、有機膜層とガスバリア膜層との付着性に優れ、十分なガスバリア性を有するガスバリアフィルム積層体を得ること。【解決手段】本願のガスバリアフィルム積層体は、基材となる樹脂フィルム11と;樹脂フィルム11の少なくとも片面側に、少なくとも一層の有機膜層12と、少なくとも一層のガスバリア膜層13を備える。有機膜層12は、表面調整剤を含有し、前記表面調整剤が、(メタ)アクリレートを主鎖とするフッ素を含まない化合物を含む。ガスバリア膜層13は、金属酸化物を主成分とし、さらに有機成分を含有し、プラズマCVD法により成膜される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材となる樹脂フィルムと;
前記樹脂フィルムの少なくとも片面側に、少なくとも一層の有機膜層と、少なくとも一層のガスバリア膜層を備え;
前記有機膜層が、表面調整剤を含有し、前記表面調整剤が、(メタ)アクリレートを主鎖とするフッ素を含まない化合物を含み、
前記ガスバリア膜層が、金属酸化物を主成分とし、さらに有機成分を含有し、プラズマCVD法により成膜された、
ガスバリアフィルム積層体。
IPC (9件):
B32B 9/00
, C23C 16/54
, C23C 16/50
, C23C 16/42
, H05B 33/04
, H01L 51/50
, H05B 33/02
, H01L 51/44
, B32B 27/30
FI (9件):
B32B9/00 A
, C23C16/54
, C23C16/50
, C23C16/42
, H05B33/04
, H05B33/14 A
, H05B33/02
, H01L31/04 120
, B32B27/30 A
Fターム (72件):
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107BB02
, 3K107CC23
, 3K107CC25
, 3K107DD16
, 3K107DD17
, 3K107DD19
, 3K107EE45
, 3K107EE48
, 3K107EE49
, 3K107EE50
, 3K107FF02
, 3K107FF14
, 3K107FF15
, 3K107GG03
, 4F100AA17D
, 4F100AA17E
, 4F100AH00B
, 4F100AH00C
, 4F100AH00D
, 4F100AH00E
, 4F100AK01A
, 4F100AK01B
, 4F100AK01C
, 4F100AK02A
, 4F100AK25B
, 4F100AK25C
, 4F100AK42A
, 4F100AK45A
, 4F100AK49A
, 4F100AL05B
, 4F100AL05C
, 4F100AT00A
, 4F100AT00B
, 4F100AT00C
, 4F100BA05
, 4F100BA10D
, 4F100BA10E
, 4F100EH46B
, 4F100EH46C
, 4F100EH66D
, 4F100EH66E
, 4F100EJ61D
, 4F100EJ61E
, 4F100GB41
, 4F100JB14B
, 4F100JB14C
, 4F100JD02D
, 4F100JD02E
, 4F100JD04
, 4F100JN01
, 4F100YY00
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA14
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030CA17
, 4K030FA01
, 4K030GA14
, 4K030JA01
, 4K030LA18
, 5F151AA11
, 5F151BA18
, 5F151CB12
, 5F151JA05
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (1件)
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