特許
J-GLOBAL ID：201603013020789986

13族元素窒化物結晶層および機能素子

発明者：
岩井 真

岩井 真 について

, 
吉野 隆史

吉野 隆史 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-120572
公開番号（公開出願番号）：特開2016-001650
出願日： 2014年06月11日
公開日（公表日）： 2016年01月07日
要約：
【課題】13族元素窒化物結晶層において所望の導電性を得ると共に、結晶層の導電性の不均一による機能の不均一化を抑制できる結晶層及び機能素子を提供する。【解決手段】13族元素窒化物からなる結晶層3の表面3aに、第一の領域8と、第一の領域8よりも高いキャリア濃度および欠陥密度を有する第二の領域9とが存在しており、第一の領域8のキャリア濃度と欠陥密度との積に対する第二の領域の9キャリア濃度と欠陥密度との積の比率(第二の領域/第一の領域)が10以上1000以下である。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
13族元素窒化物からなる結晶層であって、 前記結晶層の表面に、第一の領域と、前記第一の領域よりも高いキャリア濃度および欠陥密度を有する第二の領域とが存在しており、前記第一の領域のキャリア濃度と欠陥密度との積に対する前記第二の領域のキャリア濃度と欠陥密度との積の比率(第二の領域/第一の領域)が10以上、1000以下であることを特徴とする、13族元素窒化物からなる結晶層。
IPC (4件)：
H01L 33/32 ,  H01L 21/205 ,  C30B 29/38 ,  C23C 16/34
FI (4件)：
H01L33/00 186 ,  H01L21/205 ,  C30B29/38 D ,  C23C16/34
Fターム (50件)：
4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077BE15 ,  4G077CG01 ,  4G077CG07 ,  4G077DB05 ,  4G077DB12 ,  4G077EH08 ,  4G077HA12 ,  4G077QA36 ,  4G077TJ01 ,  4K030AA03 ,  4K030AA13 ,  4K030BA08 ,  4K030BA38 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045AB14 ,  5F045AB17 ,  5F045AF04 ,  5F045CA11 ,  5F141AA40 ,  5F141AA44 ,  5F141CA05 ,  5F141CA40 ,  5F141CA49 ,  5F141CA57 ,  5F141CA63 ,  5F141CA64 ,  5F141CA65 ,  5F141CA66 ,  5F141CA67 ,  5F141FF11 ,  5F241AA40 ,  5F241AA44 ,  5F241CA05 ,  5F241CA40 ,  5F241CA49 ,  5F241CA57 ,  5F241CA63 ,  5F241CA64 ,  5F241CA65 ,  5F241CA66 ,  5F241CA67 ,  5F241FF11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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