特許
J-GLOBAL ID：201603014747125947
エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
保坂 延寿
, 宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-160399
公開番号（公開出願番号）：特開2013-110381
特許番号：特許第6022837号
出願日： 2012年07月19日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガスを封入するレーザチャンバと、
前記レーザチャンバの内部に配置された少なくとも一対の電極と、
前記電極間に電圧を供給する電源部と、
ハロゲンガスを含む第1レーザガスを収容した第1容器と、前記第1レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第2レーザガスを収容した第2容器と、に接続され、前記第1レーザガス及び前記第2レーザガスの前記レーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部と、
前記レーザチャンバの内部のガスの部分的な排気を行うガス排気部と、
前記ガス供給部及び前記ガス排気部を制御するガス制御部と、
を備え、
前記ガス制御部は、
前記ガス供給部による前記第2レーザガスの前記レーザチャンバの内部への供給、及び、前記ガス排気部による前記レーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、
前記ガス供給部による前記第1レーザガス及び前記第2レーザガスの前記レーザチャンバの内部への供給と、前記ガス排気部による前記レーザチャンバの内部のガスの部分的な排気とを順次行う部分ガス交換制御と、
を選択的に行うように構成され、
前記ガス制御部は、
前記レーザチャンバから出力されるレーザ光の繰り返し周波数を計測し、
前記繰り返し周波数に基づいて所定時間に対する補正演算を行い、前記繰り返し周波数が第1の値である場合に補正時間を第1の長さとし、前記繰り返し周波数が前記第1の値より大きい第2の値である場合に、前記補正時間を前記第1の長さより短い第2の長さとするように、前記補正時間を算出し、
前回の部分ガス交換制御を行ったときから前記補正時間が経過したときに次の部分ガス交換制御を行うように構成され、
前記部分ガス交換制御において、
前記繰り返し周波数が前記第1の値である場合に、第1の所定量の前記第1レーザガス及び前記第2レーザガスを前記レーザチャンバの内部に供給し、前記第1の所定量の排気を行い、
前記繰り返し周波数が前記第2の値である場合に、前記第1の所定量より小さい第2の所定量の前記第1レーザガス及び前記第2レーザガスを前記レーザチャンバの内部に供給し、前記第2の所定量の排気を行う、エキシマレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/225 ( 200 6.01)
, H01S 3/131 ( 200 6.01)
, H01S 3/134 ( 200 6.01)
H01S 3/225
, H01S 3/131
, H01S 3/134
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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