形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：川北喜十郎 , 藤田正広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-550158
特許番号：特許第6020593号
出願日： 2013年11月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検物の形状を測定する形状測定装置であって、前記被検物に光を照射する照射光学系と、前記被検物に照射され前記被検物で反射する光を検出する撮像素子とを含むプローブと、前記プローブを前記被検物の周囲で回転させる回転機構と、前記プローブが前記回転機構の回転軸から離れて配置されるように前記プローブを保持し、前記プローブの回転に伴い前記被検物に対する前記プローブの姿勢を変える保持部と、前記撮像素子で検出する信号を用いて、前記被検物の形状情報を算出する演算部と、前記保持部の変形に基づいて、前記被検物の形状情報を補正する補正部と、を備える形状測定装置。

IPC (1件)：