特許
J-GLOBAL ID：201203038141101550

三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム

発明者：
青木 洋

青木 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-240962
公開番号（公開出願番号）：特開2012-093235
出願日： 2010年10月27日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：
【課題】光源の光量に変化があった場合であっても、三次元形状を精度良く算出することができる。【解決手段】三次元形状測定装置1は、メイン光源22が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物11上に投影する投影部13と、測定対象物11を撮像する撮像部14と、投影部13が投影する縞パターンの位相を変化させながら、撮像部14に測定対象物11の撮像を繰り返しさせるとともに、縞パターンの画像を複数順に取得する制御部と、メイン光源22の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、測定対象物11の三次元形状を算出する形状算出部と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物上に投影する投影部と、 前記測定対象物を撮像する撮像部と、 前記投影部が投影する縞パターンの位相を変化させながら、前記撮像部に前記測定対象物の撮像を繰り返しさせるとともに、縞パターンの画像を複数順に取得する制御部と、 前記光源の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を算出する形状算出部と、 を備えることを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G06T 1/00
FI (2件)：
G01B11/25 H ,  G06T1/00 315
Fターム (44件)：
2F065AA17 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB27 ,  2F065EE03 ,  2F065EE09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL41 ,  2F065LL46 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR06 ,  2F065SS13 ,  5B057AA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CE11 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC32
引用特許：
審査官引用 (9件)
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