特許
J-GLOBAL ID：201603016452818790

インプリント装置、それを用いた物品の製造方法

発明者：
山下 敬司

山下 敬司 について

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酒井 啓太

酒井 啓太 について

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鳥居 弘稔

鳥居 弘稔 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-156145
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022378
特許番号：特許第5995567号
出願日： 2012年07月12日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成されているパターンの上にパターン形成を行うインプリント装置であって、 前記基板の裏面に接触する接触面を有し、前記基板を吸着して保持する保持手段と、 前記裏面と前記接触面との間に無極性ガスおよび空気を供給する供給手段と、 前記基板上に形成されているパターンの形状を変化させる変形手段と、を備え、 前記保持手段により前記裏面を吸着し、かつ前記供給手段により前記裏面と前記接触面との間に前記無極性ガスおよび空気を供給して、前記変形手段により前記形状を変化させ、 前記無極性ガスの割合は、前記形状を変化させる場合には、前記空気の割合より多く、 前記無極性ガスの割合は、少なくとも前記形状を変化させた後には、前記空気の割合より少ない、 ことを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/30 502 D ,  B29C 59/02 ZNM Z
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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