特許

J-GLOBAL ID：201603016510776318

シリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボ及びその製造方法

発明者： 須藤 俊明 ,  北原 賢 ,  相場 秋廣 ,  奥州谷 和司 ,  吉田 文枝 ,  旭岡 真喜子 ,  北原 江梨子 ,  佐藤 忠広
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (1件)： 野村 一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-519596
特許番号：特許第6025278号
出願日： 2013年05月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上端が開口し鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部、湾曲した底部、及び前記直胴部と前記底部とを連結し且つ前記底部よりも曲率が大きいコーナー部を備えるシリカガラスルツボであって、 前記シリカガラスルツボは、内側に透明層、及びその外側に気泡層を備え、 前記透明層の内表面側に圧縮応力が残留する圧縮応力層と、 前記圧縮応力層と0.17MPa/mm以上、1.5MPa/mm以下の応力変化率で隣接している、引張応力が残留する引張応力層と、 を備えることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボ。

IPC (3件)：

C30B 29/06 ( 200 6.01) ,  C30B 15/10 ( 200 6.01) ,  C03B 20/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C30B 29/06 502 B ,  C30B 15/10 ,  C03B 20/00 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• シリカガラスルツボ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-263041   出願人：ジャパンスーパークォーツ株式会社
• シリカガラスルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-267590   出願人：ジャパンスーパークォーツ株式会社
• シリカ焼結体ルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-242536   出願人：コバレントマテリアル株式会社