特許
J-GLOBAL ID：201603018669547649
大きな粒子径を有する多結晶材料を製造するための装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
佐伯 憲生
, 中村 正展
, 佐伯 拓郎
, 佐伯 裕子
, 牛山 直子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-509339
特許番号：特許第5953368号
出願日： 2012年04月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 断熱材に囲まれた高温帯と、
前記高温帯内のるつぼ支持ブロックに隣接するるつぼ枠であって、前記るつぼ支持ブロックと熱的に接触している底板を有するるつぼ枠と、
前記るつぼ枠の底板と熱的に接触している底を有する前記るつぼ枠内に収められたるつぼ
を備える、結晶成長装置であって、
前記るつぼ支持ブロック、前記るつぼ枠の底板、又は前記るつぼ支持ブロックと前記るつぼ枠の底板の両方が、冷却剤を内部に有する少なくとも1つの空隙を備え、前記少なくとも1つの空隙はるつぼ枠の底板の中心又はるつぼの底の中心に隣接し、
前記空隙は入口及び出口を含み、これによって冷却剤は空隙に入り、空隙内を循環して、るつぼ枠の底板又はるつぼの底に直接熱的に接触し、空隙を出ることができる、
結晶成長装置。
IPC (2件)：
C30B 28/06 ( 200 6.01)
, C30B 29/06 ( 200 6.01)
C30B 28/06
, C30B 29/06 501 Z
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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