基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：杉谷勉 , 戸高弘幸 , 杉谷知彦 , 栗原要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-072182
公開番号（公開出願番号）：特開2016-192507
出願日： 2015年03月31日
公開日（公表日）： 2016年11月10日
要約：

【課題】パーティクルの浮遊をさらに抑制できる基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法を提供する。【解決手段】基板搬送装置は、搬送機構17と搬送室と第1排気ファン41と制御部を備える。搬送機構17は、所定方向Xに平行移動可能に設けられる。搬送室は、搬送機構17の所定方向Xの一方側X(+)に設けられる第1壁と、搬送室の外部との間で基板が移動するための複数の搬送口を備える。第1排気ファン41は、搬送口のいずれよりも第1壁に近い位置に配置され、搬送室の気体を搬送室の外部に排出する。制御部は、第1壁からの距離が所定値以下である第1近位エリアD1において搬送機構17が第1壁に向かって移動するときには(モードM3)、搬送機構17が第1近位エリアD1の外において第1壁に向かって移動するとき(モードM1、M2)よりも、第1排気ファン41の気体排出量を大きくさせる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板搬送装置であって、所定方向に平行移動可能に設けられ、基板を搬送する搬送機構と、前記搬送機構を収容する搬送室と、を備え、前記搬送室は、前記搬送機構の前記所定方向の一方側に設けられる第1壁と、前記搬送室の外部との間で基板が移動するための複数の搬送口と、を備え、前記基板搬送装置は、前記搬送口のいずれよりも前記第1壁に近い位置に配置され、前記搬送室の気体を前記搬送室の外部に排出する第1排気部と、前記搬送機構と前記第1排気部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第1壁からの距離が所定値以下である第1近位エリアにおいて前記搬送機構が前記第1壁に向かって移動するときには、前記搬送機構が前記第1近位エリアの外において前記第1壁に向かって移動するときよりも、前記第1排気部の気体排出量を大きくさせる基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , F24F 7/007 , F24F 11/04

FI (4件)：

H01L21/68 A , F24F7/007 B , F24F11/04 Z , F24F11/04 G

Fターム (28件)：

3L056BD07 , 3L056BF04 , 3L260AA05 , 3L260AB18 , 3L260AB20 , 3L260BA07 , 3L260BA09 , 3L260BA41 , 3L260CB65 , 3L260DA20 , 3L260FC03 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BB03 , 5F131CA15 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131JA08 , 5F131JA16 , 5F131JA28 , 5F131JA32 , 5F131JA40

引用特許：

審査官引用 (4件)

局所クリーン化搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-269967 出願人：株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-137264 出願人：東京エレクトロン株式会社
自動倉庫
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-247189 出願人：国立大学法人東京工業大学, 村田機械株式会社

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