特許
J-GLOBAL ID：201603019014952180
レーザ顕微鏡及びスキャナー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 健次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-121655
公開番号（公開出願番号）：特開2016-001274
出願日： 2014年06月12日
公開日（公表日）： 2016年01月07日
要約：
【課題】広い視野の高解像度画像を高速で撮像することができるレーザ顕微鏡を実現する。【解決手段】本発明のレーザ顕微鏡は、レーザ光源(1)と、レーザ光源から出射した光ビームを第1の方向に周期的に偏向する音響光学素子(3)と、音響光学素子から出射した光ビームを、第1の方向と対応する方向にライン状に整列した複数のサブビームに変換する回折格子(8)と、音響光学素子と回折格子との間に配置され、音響光学素子の瞳を回折格子上に拡大してリレーする第1のリレー光学系(4,6)と、ビーム偏向手段から出射した複数のサブビームを試料に向けて投射し、前記第1の方向と対応する方向にライン状に整列した複数の光スポットを形成する対物レンズ(16)と、試料から出射した反射光を、対物レンズを介して受光する光検出手段(21)とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光ビームを発生するレーザ光源と、
レーザ光源から出射した光ビームを第1の方向に周期的に偏向する音響光学素子と、
前記音響光学素子から出射した光ビームを、前記第1の方向と対応する方向にライン状に整列した複数のサブビームに変換する回折格子と、
前記音響光学素子と回折格子との間に配置され、音響光学素子から出射した光ビームを、そのビーム径を拡大して回折格子にリレーするリレー光学系と、
前記複数のサブビームを試料に向けて投射し、試料上において前記第1の方向と対応する方向にライン状に整列した複数の光スポットを形成する対物レンズと、
前記試料から出射した反射光を、前記対物レンズを介して受光する光検出手段とを有し、
前記試料上に形成された光スポットは、前記音響光学素子の偏向作用により、前記第1の方向と対応する方向に少なくとも隣接する光スポット間の離間距離だけスキャンされることを特徴とするレーザ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H052AA07
, 2H052AC15
, 2H052AC18
, 2H052AC25
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AF14
