特許
J-GLOBAL ID：200903024947586370

複数ビーム検査装置および方法

発明者：
クヴァンメ・デーモン・エフ.

クヴァンメ・デーモン・エフ. について

, 
ウォルシュ・ロバート・ダブリュ.

ウォルシュ・ロバート・ダブリュ. について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー・コーポレーション

ケーエルエー-テンカー・コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-519925
公開番号（公開出願番号）：特表2004-515750
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】【解決手段】基板(12)の表面(11)を検査するための光学検査システムが開示されている。光学検査システムは、光軸に沿って入射光ビーム(66)を照射するための光源(52)と、入射光ビームを複数の光ビームに分離し、基板の表面と交差するように複数の光ビームを方向付け、複数の光ビームを基板の表面上の複数の走査スポットに集束させるよう構成された第1のセットの光学素子とを備える。検査システムは、さらに、複数の光ビームと基板の表面との交差によって引き起こされる複数の反射または透過光ビームの個々のビームに対応する個々の光検出器(61A、61B、61C、65A、65B、65C)を備えた光検出器配列を備える。光検出器は、反射光と透過光いずれかの光度を検知するよう構成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板の表面を検査するための光学検査システムであって、 入射光ビームを光軸に沿って照射するための光源と、 前記入射光ビームを複数の光ビームに分離し、前記基板の前記表面と交差するように前記複数の光ビームを方向付け、前記複数の光ビームを前記基板の前記表面上の複数の走査スポットに集束させるための第1のセットの光学素子と、 個々の光検出器を備える光検出器配列であって、前記個々の光検出器は、前記複数の光ビームと前記基板の前記表面との前記交差によって引き起こされる複数の反射または透過光ビームの個々のビームに対応し、前記光検出器は、前記反射または透過光の光度を感知するよう構成されている、光検出器配列と、を備える光学検査システム。
IPC (4件)：
G01N21/956 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66
FI (5件)：
G01N21/956 A ,  G03F1/08 A ,  G03F1/08 S ,  H01L21/66 J ,  H01L21/30 502P
Fターム (27件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB15 ,  2G051BB20 ,  2G051BC06 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2G051CD04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2H095BD04 ,  2H095BD11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB01 ,  4M106DB11 ,  4M106DB30
引用特許：
審査官引用 (4件)
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