特許
J-GLOBAL ID:201603019325800988
第2族元素を含有する酸化亜鉛薄膜製造用組成物およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-217558
公開番号(公開出願番号):特開2016-084253
出願日: 2014年10月24日
公開日(公表日): 2016年05月19日
要約:
【課題】有機亜鉛化合物として、ジエチル亜鉛といったアルキル亜鉛を原料とした部分加水分解物を用いる方法において、第2族元素を含有する酸化亜鉛薄膜の形成を1液での塗布成膜で可能とする、第2族元素を含有する酸化亜鉛薄膜製造用組成物およびその製造方法を提供。【解決手段】下記一般式(1)で表される有機亜鉛化合物の部分加水分解物及び第2族元素を有機溶媒に溶解した溶液である、第2族元素を含有する酸化亜鉛薄膜製造用組成物。この溶液は、第13族元素をさらに含むことができる。R1-Zn-R1 (1)(式中、R 1 は炭素数1〜7の直鎖または分岐したアルキル基である)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表される有機亜鉛化合物の部分加水分解物及び第2族元素を有機溶媒に溶解した溶液(但し、この溶液は、第13族元素をさらに含むことができる)であることを特徴とする、第2族元素を含有する酸化亜鉛薄膜製造用組成物。
(有機亜鉛化合物)
R1-Zn-R1 (1)
(式中、R 1 は炭素数1〜7の直鎖または分岐したアルキル基である)
IPC (4件):
C01G 9/00
, C07F 3/06
, C07F 3/02
, C07F 5/06
FI (4件):
C01G9/00 B
, C07F3/06
, C07F3/02 A
, C07F5/06 A
Fターム (10件):
4G047AA04
, 4G047AB02
, 4G047AC02
, 4G047AD02
, 4H048AA03
, 4H048AB99
, 4H048VA61
, 4H048VA67
, 4H048VA80
, 4H048VB20
引用特許:
引用文献:
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