加熱装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 伊藤正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-287525
公開番号（公開出願番号）：特開2014-130900
特許番号：特許第5998925号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】搭載面をそれぞれ有する複数の基板プレートを並行に前記搭載面の面法線方向に配列した構成のボートタイプのサンプルホルダの前記搭載面に垂直に搭載された基板を加熱する加熱装置であって、前記サンプルホルダが格納されるチャンバーと、前記チャンバー内において前記サンプルホルダの周囲及び前記基板プレート間に配置されたヒータとを備え、前記ヒータが前記基板を透過して前記サンプルホルダで吸収される波長を放射し、前記ヒータによって加熱された前記サンプルホルダを伝導した熱によって、基板温度をオーバーシュートさせることなく前記基板を所定の温度に加熱することを特徴とする加熱装置。

IPC (1件)：