熱処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松尾憲一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-275878
公開番号（公開出願番号）：特開2008-096003
出願日： 2006年10月07日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】開閉扉の密閉性が保たれない場合でも、ガラス基板にパーティクルが付着するのを防止することができるガラス基板用熱処理装置を提供する。【解決手段】炉体内部に、ヒータを備える加熱室3を設け、この加熱室の基板収納口4に開閉蓋5を配設したガラス基板用熱処理装置において、前記基板収納口の下方には、排気管7が炉体の左右方向に向けて配設されており、この排気管の上面には、吸気用の吸引孔11穿設しており、この吸引孔を介して加熱室内部の気体や夾雑物を吸引できるようにしている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

炉体内部にヒータを備える加熱室を設け、この加熱室の基板収納口に開閉蓋を配設した熱処理装置において、前記基板収納口の近傍に、吸引孔を穿設した排気管を、左右方向へ伸延させて配設したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

F27D 7/06 , F27B 17/00 , F27D 11/02

FI (3件)：

F27D7/06 B , F27B17/00 B , F27D11/02 A

Fターム (8件)：

4G015EA00 , 4K063AA05 , 4K063BA12 , 4K063CA03 , 4K063DA15 , 4K063DA23 , 4K063DA24 , 4K063FA02

引用特許：

出願人引用 (11件)

ガラス基板用熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-307404 出願人：昭和鉄工株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-205960 出願人：エスペック株式会社
着色レジスト焼成用オーブン
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-070763 出願人：凸版印刷株式会社

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審査官引用 (1件)

熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-205960 出願人：エスペック株式会社

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