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J-GLOBAL ID：201702212793746754   整理番号：17A1837322

反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるAlNナノコンポジット硬質薄膜の作製

著者 (8件)： 吉田智博 (福岡県工技セ 機械電子研) ,  内田聖也 (九大 大学院総合理工学府) ,  村澤功基 (オーエスジー) ,  工藤昌輝 (九大 超顕微解析研究セ) ,  鳥山誉亮 (九大 超顕微解析研究セ) ,  福井康雄 (オーエスジー) ,  櫻井正俊 (オーエスジー) ,  吉武剛 (九大 大学院総合理工学府)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 68  号： 12  ページ： 735-737  発行年： 2017年12月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化アルミニウム(AlN)膜を高強度鋼基板上に反応性同軸型アークプラズマ堆積法で作製し,そのキャラクタリゼーションを行なった。この結果,得た膜中には5~10nmのナノ結晶がアモルファス母相中に分散したナノ複合材料であることを明らかにした。ナノインデンテーションによる硬度評価は,これまでに報告されているAlN膜よりも高い値を示し,ナノ結晶の存在がその要因であると推察した。

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  ナノ結晶 ,  非晶質 ,  ナノ複合材料 ,  *セラミック膜 ,  *プラズマCVD ,  微小硬さ ,  *反応性プラズマ蒸着

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (11件)：

• 1)Y.-Y, Chang , S.-J. Yang, D.-Y. Wang ; Surface & Coatings Technology, 201, 4209(2006).
• 2)W. J. Zhang, I. Bello, Y. Lifshitz, S. T. Lee ; MRS Bull., 28, 184(2003).
• 3)D. Litvinov, R. Clarke ; Appl. Phys. Lett., 74, 955(1999).
• 4)S. Matsumoto, W. Zhang ; Jpn. J. Appl. Phys., 39, 442(2000).
• 5)M. Keunecke, E. Wiemann, K. Weigel, S. T. Park, K. Bewilogua ; Thin Solid Films, 515, 967(2006).

タイトルに関連する用語 (8件)： 反応性 ,  同軸 ,  アークプラズマ ,  堆積 ,  AlN ,  ナノコンポジット ,  硬質薄膜 ,  作製