文献

J-GLOBAL ID：201702213607111093   整理番号：17A1475217

超音波診断用CMUTの積層薄膜構造の検討

Evaluation of Thin Films Composition of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Ultrasonic Diagnoses

著者 (3件)： 青野宇紀 ((株)日立製作所 研究開発グループ 機械イノベーションセンタ) ,  吉村保廣 ((株)日立製作所 研究開発グループ 機械イノベーションセンタ) ,  町田俊太郎 ((株)日立製作所 研究開発グループ エレクロトニクスイノベーションセンタ)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 10  ページ： 341-348(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,超音波を送受信するCMUT(Capacitive Micromachined Ulyrasonic Transducers)の構成について,解析および実験を用いて検討した。上部電極上に積層する絶縁膜(SiO₂,SiN)の膜厚を調製することで,振動板の変形を調製できることを確認した。振動板の変形は,膜構成のみでなく,振動板のエッジ部分の剛性の影響もあることが分かった。振動板の変形を抑制したCMUTを用いて,被検体を模擬した水中のスポンジの画像を取得することができた。

シソーラス用語： *超音波診断 ,  *超音波変換器 ,  *静電容量 ,  *マイクロマシニング ,  *多層膜 ,  振動板 ,  *解析 ,  半導体プロセス ,  薄膜成長 ,  絶縁膜 ,  エッチング ,  音響インピーダンス ,  インピーダンス整合 ,  超音波画像 ,  探触子
準シソーラス用語： *CMUT ,  *変形解析 ,  犠牲層エッチング ,  超音波探触子

著者キーワード (10件)： 超音波探触子 ,  CMUT ,  薄膜 ,  応力 ,  有限要素法 ,  ultrasonic probe ,  capacitive micromachined ultrasonic transducers ,  thin film ,  stress ,  finite element method

分類 (3件)： 非破壊試験  (HB02030F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

引用文献 (14件)：

• (1) J. C. Bamber and M. Tristam : “DIAGNOSTIC ULTRASOUND”, The Physics of Medical Imaging, pp. 319-388 (1988)
• (2) C. Draft, P. Wagner, B. Bymaster, S. Panda, K. Patel, and I. Ladabaum : “cMUTs and electronic for 2D and 3D imaging : Monolithic integrateion, in-handle chip sets and system implications”, Proc. IEEE Ultrasonic Symposium, pp. 467-478 (2005)
• (3) B. T. Khuri-Yakub and O. Oralkan : “Capacitive micromachined ultrasonic transducers for medical imaging and therapy”, J. Micromech. Microeng., 21, 054004 (2011)
• (4) E. Bahette, J. F. Michaud, D. Certon, D. Gross, and D. Alquier : “Progresses in cMUT device fabrication using low temperature processes”, J. Micromech. Microeng., 24, 045020 (2014)
• (5) A. Bagolini, A. S. Savoia, A. Picciotto, M. Boscardin, P. Bellutti, N. Lamberti, and G. Caliano : “PECVD low stress silicon nitride analysis and optimization for the fabrication of CMUT deveice”, J. Micromech. Microeng., 25, 015012 (2015)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超音波診断 ,  CMUT ,  膜構造