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J-GLOBAL ID：201702213825496220   整理番号：17A1374923

走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いて局所照射した水蒸気添加の大気圧プラズマジェットによるポリマー表面の微細加工

著者 (8件)： 山本将 (静大 院) ,  森松大亮 (静大 院) ,  中村篤志 (静大 院) ,  荻野明久 (静大 院) ,  永津雅章 (静大 院) ,  永津雅章 (静大 電研) ,  岩田太 (静大 院) ,  岩田太 (静大 電研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.L20  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマは表面処理や,加工などに適用可能であり,工業や医療など様々な分野で応用されている。特に大気圧プラズマジェット(APPJ)は大気圧下で駆動可能なため近年注目を集めている。我々はサブミクロンの開口を持つガラス管(ナノピペット)をAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた微細加工装置を開発している。本研究では水蒸気添加したHe-APPJを用いて表面微細加工の効率向上について取り組んだ結果にいて報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 走査型プローブ顕微鏡 ,  実験用器具 ,  部分照射 ,  *水蒸気 ,  *プラズマジェット ,  *表面加工 ,  微細加工 ,  高分子 ,  剪断力 ,  力制御 ,  位置決め ,  電圧依存性 ,  *アクリル樹脂 ,  *サブミクロン加工
準シソーラス用語： ナノピペット ,  局所照射 ,  *大気圧プラズマジェット

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• D. Morimatsu, H. Sugimoto, A. Nakamura, A. Ogino, M. Nagatsu, and F. Iwata, J. Appl. Phys. 55 (2016) 08NB15(6page)
• T. Ichiki et al J. Appl. Phys. 95(1) (2004) 35
• N. Srivastava, C. Wang, J. Appl. Phys. 110 (2011)
• 中村 成夫, 日本医科大学医学会雑誌 9 (2013) 164-169

タイトルに関連する用語 (8件)： 走査型 ,  ナノピペット ,  プローブ顕微鏡 ,  局所照射 ,  水蒸気 ,  大気圧プラズマジェット ,  ポリマー ,  微細加工