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J-GLOBAL ID：201702229972564906   整理番号：17A1221143

大気圧プラズマジェットを用いた微細加工用の走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発

Development of a scanning nanopipette probe microscope for fine processing using atmospheric pressure plasma jet

著者 (6件)： MORIMATSU Daisuke (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SUGIMOTO Hiromitsu (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  NAKAMURA Atsushi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OGINO Akihisa (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  NAGATSU Masaaki (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  IWATA Futoshi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 55  号： 8S1  ページ： 08NB15.1-08NB15.5  発行年： 2016年08月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ナノピペットを備えた走査型プローブ顕微鏡を用いて,局所大気圧プラズマジェット(APPJ)に基づく微細材料加工のための新規な技術を開発した。サブミクロン径の開口を有する,テーパ付きガラスキャピラリであるナノピペットをノズルとして使用することにより,微細表面処理のためのAPPJの放電領域を局在化することが可能になった。ナノピペットはまた,せん断力フィードバック制御を用いて操作される走査型プローブ顕微鏡用のプローブとしても使用することができ,処理された表面のAPPJ処理およびイメージングのための材料表面の近傍にピペットの縁部を位置決めすることができた。サブミクロンホールおよびラインパターンは,フォトレジスト膜上でうまく処理された。印加されたパルス電圧およびピペットと表面との間の距離を変化させることによって,処理されたパターンサイズを制御することが可能であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマジェット ,  *微細加工 ,  *実験用器具 ,  *顕微鏡 ,  気体放電 ,  サブミクロン加工
準シソーラス用語： *大気圧プラズマジェット ,  *ナノピペット ,  *プローブ顕微鏡 ,  マイクロ放電

分類 (3件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  表面処理  (YH04112X) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (41件)：

• A. Shashurin, M. Keidar, S. Bronnikov, R. A. Jurjus, and M. A. Stepp, Appl. Phys. Lett. 93, 181501 (2008).
• H. W. Lee, S. H. Nam, A.-A. H. Mohamed, G. C. Kim, and J. K. Lee, Plasma Processes Polym. 7, 274 (2010).
• X. Zheng, G. Chen, Z. Zhang, G. Lv, J. Beem, S. Massey, and M. Tatoulian, Plasma Processes Polym. 10, 379 (2013).
• S. Wang, X. Xu, L. Zhao, and T. Ye, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 5294 (2007).
• A. Sch?tze, J. Y. Jeong, S. E. Babayan, J. Park, G. S. Selwyn, and R. F. Hicks, IEEE Trans. Plasma Sci. 26, 1685 (1998).

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧プラズマジェット ,  微細加工 ,  走査型 ,  ナノピペット ,  プローブ顕微鏡 ,  開発