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J-GLOBAL ID：201702215431574960   整理番号：17A1810820

Al₂O₃(0001)上に堆積したSnをドープしたIn₂O₃下部電極を用いた(Pb,La)(Zr,Ti)O₃コンデンサの作製と電気特性

Fabrication and electrical properties of a (Pb,La)(Zr,Ti)O₃ capacitor with pulsed laser deposited Sn-doped In₂O₃ bottom electrode on Al₂O₃(0001)

著者 (8件)： TAKADA Yoko (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  TAMANO Rika (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  OKAMOTO Naoki (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  SAITO Takeyasu (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  YOSHIMURA Takeshi (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  FUJIMURA Norifumi (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  HIGUCHI Koji (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KITAJIMA Akira (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 7S2  ページ： 07KC02.1-07KC02.4  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *アルミナ ,  *電極 ,  *ジルコニウム酸チタン酸ランタン鉛 ,  *コンデンサ ,  スパッタリング ,  *X線回折 ,  *ヒステリシス ,  漏れ電流
準シソーラス用語： *ITO電極 ,  PLZT ,  DCスパッタリング ,  *分極ヒステリシス

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (12件)： Al2O3 ,  堆積 ,  Sn ,  ドープ ,  Pb ,  La ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  コンデンサ ,  作製 ,  電気特性