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J-GLOBAL ID：201702221531279806   整理番号：17A0512014

全視野型EDXRFイメージング装置の開発と特性評価

Development and Evaluation of Full Field Type EDXRF Imaging Instrument

著者 (5件)： 瀧本雄毅 (大阪市大 大学院工学研究科) ,  山梨眞生 (京都市産業技術研) ,  ROMANO Francesco Paolo (Istituto per i Beni Archeologici e Monumentali, CNR, Catania, ITA) ,  ROMANO Francesco Paolo (INFN, Catania, ITA) ,  辻幸一 (大阪市大 大学院工学研究科)
資料名： X線分析の進歩  (X線工業分析)
巻： 48  ページ： 159-168  発行年： 2017年03月31日 
JST資料番号： Z0547B  ISSN： 0911-7806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エネルギー分散型蛍光X線分析(EDXRF)は試料中に含まれる複数の元素を同時に元素分析できる非破壊的な分析法である。元素分布像を取得するためには,一次X線としてのX線微細ビームに対して,測定箇所を逐次走査しながらエネルギー分析する方法が検討されてきた。この方法では照射ビーム径の大きさに相当する空間分解能の高い分析が可能であるが,測定する面積が大きい場合に,測定時間が長くなってしまうことが短所である。一方で,全視野型の元素イメージング法は短時間で広範囲の分析が行えると期待できる。そこで,X線CCDカメラを用いたEDXRFイメージング装置を組み立て,試料中の元素分布情報を取得するための分析法として評価した。本稿では,現在のEDXRFイメージング装置の空間分解能や検出限界について特性評価を行った。最後に,実試料の測定を行い,元素イメージの取得を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： *撮像装置 ,  *エネルギー分散蛍光X線分析 ,  CCDカメラ ,  *元素 ,  *分布 ,  検出限界 ,  空間分解能 ,  元素分析
準シソーラス用語： X線CCDカメラ ,  *元素分布

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (15件)：

• T. Nakazawa, K. Tsuji : X-ray spectrom., 42, 123 (2013).
• 八木良太,平野新太郎,辻 幸一:X線分析の進歩,45,241(2014).
• K. Tsutsumimoto, K. Tsuji : X-ray spectrom., 36, 324 (2007).
• 川又誠也,今西由紀子,中野和彦,辻 幸一:X線分析の進歩,41,185(2010).
• K. Nakano, K. Tsuji : X-ray spectrom., 38, 446 (2009).

タイトルに関連する用語 (4件)： 視野 ,  イメージング装置 ,  開発 ,  特性評価