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J-GLOBAL ID：201702223052917218   整理番号：17A0506470

マイクロマシン加工Wolter I型望遠鏡による初めてのX線画像化

First X-ray imaging with a micromachined Wolter type-I telescope

著者 (15件)： OGAWA Tomohiro (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  EZOE Yuichiro (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  KAKIUCHI Takuya (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  IKUTA Masahiro (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  SATO Mayu (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  NAKAMURA Kasumi (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  NUMAZAWA Masaki (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  TAKEUCHI Kazuma (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  TERADA Masaru (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  OHASHI Takaya (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  MITSUISHI Ikuyuki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ISHIKAWA Kumi (RIKEN, Saitama, JPN) ,  MITSUDA Kazuhisa (ISAS/JAXA, Kanagawa, JPN) ,  MORISHITA Kohei (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  NAKAJIMA Kazuo (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 4  ページ： 1101-1116  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 宇宙X線光学用のWolter I型望遠鏡を,マイクロマシン加工により試作した。望遠鏡は,直径100mm,厚さ300μmのシリコンウェーハー2枚から構成される。深い反応性イオンエッチング(DRIE)でシリコンウェーハーに微細孔を作り,微細孔側壁を高温アニーリングで平滑化し,ウェーハーを球形状に曲げ,Irで微細孔側壁をコーティングし,最後に,異なる半径を持つ2枚のウェーハーを重ねて望遠鏡にした。鮮明なX線集束を初めて確認した。角度分解能は半値全幅(FWHM)で4.1arcmin,半値幅(HPD)で92arcminで,実効面積は計算値の1/5の19.0mm²であった。角度分解能と実効面積の劣化の原因と改良手段を論じた。

シソーラス用語： *X線画像 ,  *マイクロマシニング ,  *X線望遠鏡 ,  *軽量化 ,  天体観測 ,  *RIE【エッチング】 ,  *細孔 ,  側壁 ,  ウエハ【IC】 ,  分解能 ,  FWHM ,  X線検出 ,  *改変
準シソーラス用語： 宇宙観測 ,  DRIE【エッチング】 ,  角度分解能

分類 (2件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロマシン加工 ,  望遠鏡 ,  X線画像