Yoshimura Satoru について
Center for Atomic and Molecular Technologies, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan について
Sugimoto Satoshi について
Center for Atomic and Molecular Technologies, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan について
Murai Kensuke について
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Ikeda, Osaka 563-8577, Japan について
Kiuchi Masato について
Center for Atomic and Molecular Technologies, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan について
Kiuchi Masato について
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Ikeda, Osaka 563-8577, Japan について
Surface & Coatings Technology について
X線光電子分光法 について
イオン について
タングステン について
イオンビーム について
安全性 について
質量数 について
酸化ケイ素 について
イオン照射 について
イオン源 について
イオンエネルギー について
フラグメントイオン について
低エネルギー について
イオンビーム について
フラグメント について
ヘキサメチルジシロキサン について
酸化けい素 について
酸化物薄膜 について
ヘキサメチルジシロキサン について
酸化けい素膜 について
ヘキサメチルジシロキサン について
フラグメント について
低エネルギー について
質量 について
イオンビーム について