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J-GLOBAL ID：201702230009613146   整理番号：17A1713293

ふっ素化DLC膜の軟X線照射効果【Powered by NICT】

Soft X-ray irradiation effect on the fluorinated DLC film

著者 (12件)： Takamatsu Hiroki (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo, Japan) ,  Niibe Masahito (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo, Japan) ,  Zhou XiaoLong (Department of Materials Science and Technology, Nagaoka University of Technology, Japan) ,  Komatsu Keiji (Department of Materials Science and Technology, Nagaoka University of Technology, Japan) ,  Saitoh Hidetoshi (Department of Materials Science and Technology, Nagaoka University of Technology, Japan) ,  Akasaka Hiroki (Department of Mechanical Engineering, Tokyo Institute of Technology, Japan) ,  Saiga Akihiro (National Institute of Technology, Tokyo College, Japan) ,  Tamada Koji (National Institute of Technology, Tokyo College, Japan) ,  Tagawa Masahito (Graduate School of Engineering, Kobe University, Japan) ,  Yokota Kumiko (Graduate School of Engineering, Kobe University, Japan) ,  Furuyama Yuichi (School of Maritime Sciences, Kobe University, Japan) ,  Kanda Kazuhiro (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 79  ページ： 14-20  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フッ素化ダイヤモンド状炭素(F DLC)膜に及ぼす照射効果を0から2000mAhにSR線量領域における軟X線のシンクロトロン放射(SR)を用いて種々の膜特性の線量依存性を測定して調べた。膜平坦性は維持されたが,SR照射によって変化することが分かった種々の膜特性と表面特性。F-DLC膜表面の濡れ性は,20mAh SR露光,膜表面上のふっ素の減少に起因した内で劇的に増加した。膜厚,膜密度,膜中のふっ素原子の組成比は減少し,炭素原子のsp~2/(sp ~2 + sp ~3)比は300mAh SR露光,フッ素原子を含む種の脱着に起因する以内に増加した。さらに,F-DLC膜から放出される支配的な脱着種はふっ化炭化水素基,CF_xで見られた。膜特性と膜厚の変化は進行しなかった,F-DLC膜中のフッ素含有量は,300mAh SR露光後に約10%に減少した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面性状 ,  *軟X線 ,  膜厚 ,  炭素 ,  *DLC膜 ,  放射線量 ,  濡れ ,  脱着 ,  平坦性 ,  *フッ素化 ,  露光 ,  シンクロトロン放射 ,  脂肪族フッ素化合物 ,  *フッ素
準シソーラス用語： *照射効果 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： ふっ素化 ,  DLC膜 ,  軟X線 ,  照射効果