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J-GLOBAL ID：201702233321325597   整理番号：17A1146047

シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案と特性評価

Proposal and Characterization of Hydrogen Gas Sensor Based on Silicon Microring Resonator

著者 (6件)： 松浦壮佑 (横浜国大 理工) ,  山作直貴 (横浜国大 大学院工学府) ,  國分泰雄 (横浜国大 大学院工学府) ,  西島喜明 (横浜国大 大学院工学府) ,  岡崎慎二 (横浜国大 大学院工学府) ,  荒川太郎 (横浜国大 大学院工学府)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 194(OPE2017 48-67)  ページ： 27-30  発行年： 2017年08月24日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学式水素ガスセンサの超小型・軽量化,低コスト化を目指し,白金/酸化タングステン(Pt/WO₃)薄膜とシリコンMRR(Si MRR)を組み合わせた水素ガスセンサを提案し,その設計と動作実証を行った。明確な共振波長シフトを観測するため,Pt/WO₃とSi MRRの間のSiO₂上部クラッド層厚の検討を行った。その結果に基づき水素ガスセンサを作製した。水素の爆発下限界である濃度4%のH₂/N₂混合ガスを曝露したところ,最大で140pmの共振波長の長波長シフトが観測され,高感度センサとして有望であることを示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *水素エネルギー ,  爆発限界 ,  安全対策 ,  光導波路 ,  リング共振器 ,  白金 ,  酸化タングステン ,  還元 ,  波長 ,  周波数シフト ,  マイクロリング共振器 ,  *水素センサ ,  共鳴波長
準シソーラス用語： シリコン細線光導波路 ,  還元反応 ,  共振波長 ,  波長シフト

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (11件)：

• K. Mazloomi and C. Gomes, ′′Hydrogen as an energy carrier: Prospects and challenges,′′ Renewable and Sustainable Energy Rev. vol.16, pp.3024-3033 (2012).
• Y. Luo, C. Zhang, B. Zheng, X. Geng, and M. Debliquy, ′′Hydrogen sensors based on noble metal doped metal-oxide semiconductor: A review,′′ Int. J. Hydrogen Energy,′′ vol.42, no.31, pp.20386-20397 (2017).
• C.-H. Han, D.-W. Hong, S.-D. Han, J. Gwak, and K. C. Singh, ′′Catalytic combustion type hydrogen gas sensor using TiO₂ and UV-LED,′′ Sens actuators B, vol.125, no.1, pp.224-228 (2007).
• 岡崎慎司,横山隆,中川英元,朝倉祝治, ′′光ファイバを用いた水素センサの開発動向′′, 表面技術 vol.57, no.4, pp.250-256 (2006).
• S. Okazaki, N. Kasai, and S. Yamashita, ′′Novel method for detection of hydrogen gas leak sites using Pt/WO₃ imaging devices,′′ J. Jpn. Petrol. Inst., vol.53, pp.130-134 (2010).

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  マイクロリング共振器 ,  水素ガス ,  提案 ,  特性評価