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J-GLOBAL ID:201702233321325597   整理番号:17A1146047

シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案と特性評価

Proposal and Characterization of Hydrogen Gas Sensor Based on Silicon Microring Resonator
著者 (6件):
資料名:
巻: 117  号: 194(OPE2017 48-67)  ページ: 27-30  発行年: 2017年08月24日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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光学式水素ガスセンサの超小型・軽量化,低コスト化を目指し,白金/酸化タングステン(Pt/WO3)薄膜とシリコンMRR(Si MRR)を組み合わせた水素ガスセンサを提案し,その設計と動作実証を行った。明確な共振波長シフトを観測するため,Pt/WO3とSi MRRの間のSiO2上部クラッド層厚の検討を行った。その結果に基づき水素ガスセンサを作製した。水素の爆発下限界である濃度4%のH2/N2混合ガスを曝露したところ,最大で140pmの共振波長の長波長シフトが観測され,高感度センサとして有望であることを示した。(著者抄録)
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分類 (1件):
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光導波路,光ファイバ,繊維光学 
引用文献 (11件):
タイトルに関連する用語 (5件):
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