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J-GLOBAL ID：201702233802722078   整理番号：17A1406914

マイクロ加工された可変焦点反射鏡を用いた共焦点レーザ変位センサ

Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror

著者 (7件)： NAKAZAWA Kenta (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SASAKI Takashi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FURUTA Hiromasa (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  KAMIYA Jiro (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  SASAKI Hideki (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  KAMIYA Toshikazu (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 56  号： 24  ページ： 6911-6916  発行年： 2017年08月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 焦点 ,  可変性 ,  マイクロマシニング ,  *光センサ ,  *反射鏡 ,  *変位測定 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  焦点距離 ,  線形性 ,  小型化 ,  *レーザセンサ ,  可変焦点 ,  共焦点 ,  単結晶シリコン ,  *変位センサ ,  改変

分類 (2件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ加工 ,  可変焦点 ,  反射鏡 ,  共焦点 ,  レーザ ,  変位センサ