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J-GLOBAL ID：201702234183505083   整理番号：17A1811213

走査非線形誘電率顕微鏡による極性反転圧電薄膜の定量的厚み測定

Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy

著者 (6件)： ODAGAWA Hiroyuki (Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN) ,  TERADA Koshiro (Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN) ,  TANAKA Yohei (Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN) ,  NISHIKAWA Hiroaki (Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN) ,  YANAGITANI Takahiko (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  CHO Yasuo (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 10S  ページ： 10PF18.1-10PF18.4  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *反転 ,  *薄膜 ,  *厚み ,  *チップ ,  *プローブ ,  *静電容量 ,  *電気振動 ,  *周波数 ,  *反転層 ,  窒化アルミニウム ,  *半径
準シソーラス用語： *走査型非線形誘電率顕微鏡 ,  *極性反転 ,  *圧電薄膜 ,  *プローブチップ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (8件)： 走査 ,  非線形 ,  誘電率 ,  顕微鏡 ,  極性反転 ,  圧電薄膜 ,  定量 ,  厚み測定