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J-GLOBAL ID：201702237194998617   整理番号：17A1157617

マイクロプローブのその場校正法を用いたマイクロスリット溝幅の精密測定

著者 (6件)： 伊東聡 (富山県大) ,  CHEN YuanLiu (東北大) ,  菊池浩貴 (東北大) ,  小林遼 (東北大) ,  清水祐樹 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.C04  発行年： 2017年 
JST資料番号： L0894B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *精密測定 ,  *マイクロプローブ ,  塗布 ,  溝形 ,  測定誤差 ,  *ブロックゲージ ,  キャリブレーション ,  *計測
準シソーラス用語： 溝形状 ,  校正【計測】 ,  *寸法測定

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロプローブ ,  校正 ,  マイクロ ,  スリット ,  溝幅 ,  精密測定