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J-GLOBAL ID：201702238725763176   整理番号：17A1077755

空圧ステージに対する圧力FBとモデル追従制御の適用

Application of Model Following Control and Pressure Feedback for Pneumatic Stage

著者 (3件)： 石井浩貴 (東京農工大) ,  武井陸 (東京農工大) ,  涌井伸二 (東京農工大)
資料名： 電気学会制御研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： CT-17  号： 66-77  ページ： 37-40  発行年： 2017年08月26日 
JST資料番号： L8007A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,  *フィードバック制御 ,  空気圧システム ,  空気圧制御 ,  追従制御 ,  予測制御 ,  制御系
準シソーラス用語： *電子ビーム露光装置 ,  空圧系統 ,  空圧制御 ,  モデル予測制御 ,  制御モデル

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 空圧 ,  ステージ ,  モデル ,  追従制御