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J-GLOBAL ID：201702239039560906   整理番号：17A1033128

位相シフト光パルス干渉法によるMEMS振動センサの開発【Powered by NICT】

Development of MEMS vibrating sensor with phase-shifted optical pulse interferometry

著者 (5件)： Ohe Yusaku (Tokyo Institute of Technology) ,  Kimura Hitoshi (Tokyo Institute of Technology) ,  Inou Norio (Tokyo Institute of Technology) ,  Hirayama Yoshiharu (Hakusan Corporation) ,  Yoshida Minoru (Hakusan Corporation)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EDTM  ページ： 145-147  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,大型構造物の地震動または動的挙動のための実時間測定システムを実現する精密センサを開発することである。提案したセンサは,電力を必要としない光干渉法,長期測定の利点を持つ。本論文では,MEMS振動センサの実験的研究について述べた。結果はセンサがセンサ質量部分の振動を測定することができることを示した。添加では,加速の実時間測定の可能性を確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電力 ,  *MEMS ,  *位相シフト ,  光干渉法 ,  *光パルス ,  巨大構造物 ,  *センサ ,  *干渉測定 ,  地震動
準シソーラス用語： 実験研究 ,  実時間測定 ,  動的挙動 ,  *振動センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 応用測量,その他  (RC02060Z) ,  土圧,土の動的性質,地盤の応力と変形  (RA03060A) ,  鉄道車両設計  (QH02010K) ,  人工知能  (JE08000Z) ,  脂肪族アルコール  (CF03090H)

タイトルに関連する用語 (6件)： 位相シフト ,  光パルス ,  干渉法 ,  MEMS ,  振動センサ ,  開発