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J-GLOBAL ID：201702247259092130   整理番号：17A1366977

二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中における摩擦摩耗特性に及ぼす硫黄対モリブデン組成比の影響

Effect of Sulfur to Molybdenum Composition Ratio on Friction and Wear Characteristics in Air of Sputtered Molybdenum Disulfide Films

著者 (5件)： 松崎一成 (九州工業大学 大学院工学府 機械知能工学専攻) ,  佐々木巌 (九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能応用工学専攻) ,  砂原賢治 (福岡工業大学 工学部 知能機械工学科) ,  池田満昭 (池田技術士事務所) ,  松田健次 (九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 66  号： 9  ページ： 675-681(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2硫化モリブデンは,1.94から2.25のS/Mo組成比の範囲において単相として存在することが知られている。本研究では,1.96から2.25のS/Mo比を持つ2硫化モリブデンスパッタ膜を,0から60Vの範囲の正電圧を適用する事によりクロスローラ軸受用JIS SUS440Cローラーの表面に形成した。2硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦係数と摩耗寿命を,10%相対湿度の大気中で実施した摩擦試験により調べた。長摩耗寿命と低摩擦係数を意味する良好な潤滑性能が,2硫化モリブデンのS/Mo組成比範囲のほぼ中心である2.05から2.15のS/Mo比を持つ膜において得られた。一方,潤滑性能の突然の低下が,組成比範囲の限界値近傍で見られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *硫化モリブデン ,  ステンレス鋼 ,  *スパッタリング ,  摩擦係数 ,  摩耗特性 ,  硫黄 ,  モリブデン ,  多層膜 ,  ローラ ,  ころ軸受 ,  SUS440C ,  クロスローラ軸受 ,  *摩擦特性 ,  *硫化モリブデン(IV) ,  潤滑性
準シソーラス用語： *二硫化モリブデン ,  潤滑性能 ,  組成比

著者キーワード (7件)： Molybdenum disulfide ,  Solid lubricant ,  Wear life ,  Friction coefficient ,  Sputtered film ,  S/Mo ratio ,  Bilayer film

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (21件)：

• 1) M. Suzuki, “Tribology of space equipment”, Journal of the Japan Society of Precision Engineering, Vol.67, No.12, pp.1933-1936 (2001).
• 2) E. Zenpo, S. Sato, S. Nobayashi, T. Noguchi and M. Ryu, “8 inch Wafer vacuum transportation system", Yaskawa Technical Review, Vol.62, No.2, pp.67-73 (1998).
• 3) K. Matsumoto and M. Suzuki, “Influence of oxygen and water vapor in operating environment on wear life of an MoS₂ film”, Proc. Int. Trib. Conf., Yokohama, pp.1165-1169 (1995).
• 4) M. Maillat, C. Monoud, H. E. Hintermann and J. F. Patin, “Tribological properties of PVD-applied MoS₂ coatings used on space mechanisms”, Proc.4 Euro. Symp. SpaceMech. and Trib. Symp., ESA SP-299, pp.53-57 (1990).
• 5) A. J. Haltner and C. S. Oliver, “Effect of water vapor on the friction of molybdenum disulfide”, I & EC Fundamentals, Vol.5, No.3, pp.348-355 (1966).

タイトルに関連する用語 (7件)： 二硫化モリブデン ,  スパッタ膜 ,  大気中 ,  摩擦摩耗特性 ,  硫黄 ,  モリブデン ,  組成比