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J-GLOBAL ID：201702248126656496   整理番号：17A1004729

SOI-MEMS技術による静電容量式MEMS加速度センサ

A Study on Beam Configuration of MEMS Capacitive Accelerometers Fabricated using SOI-MEMS Technologies

著者 (2件)： Jiannan Liu (千葉工業大学) ,  室英夫 (千葉工業大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 8  ページ： 247-251(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS加速度センサは1990年頃自動車のエアバッグ・システム用として実用化されて以来,様々の分野で普及が進み,大きな進歩を遂げてきた。本論文では,簡易なSOIを用いた静電容量式MEMS加速度センサについて,基本特性シミュレーションとプロトタイプの設計・試作・評価を実施した。慣性質量の辺の長さと同じ長さの梁を用いることによる感度向上への有効性の提案を行い,シミュレーションにより感度と共振周波数の関係を求めた。梁の全長が同じ場合,従来型に対し感度は数倍となるが,共振周波数はそのルート分の1となり,簡易モデルによる計算結果にほぼ一致した。

シソーラス用語： *SOI構造 ,  *MEMS ,  *静電容量 ,  *加速度計 ,  *速度センサ ,  電極 ,  感度 ,  共振周波数 ,  シミュレーション ,  慣性質量 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  静電容量センサ ,  *加速度センサ ,  MEMS加速度センサ
準シソーラス用語： 櫛形電極

著者キーワード (8件)： 加速度センサ ,  静電容量櫛型電極 ,  感度 ,  共振周波数 ,  accelerometer ,  capacitive beam configuration ,  sensitivity ,  resonant frequency

分類 (3件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• (1) C. Sun, M. Tsai, Y. Liu, and W. Fang : “Implementation of a Monolithic Single Proof-Mass Tri-Axis Accelerometer Using CMOS-MEMS Technique”, IEEE Trans. on Electron Devices, Vol. 57, pp. 1670-1679 (2010)
• (2) Y. Wang and P. Chan : “A Low-Power Highly Sensitive Capacitive Accelerometer IC Using Auto-Zero Time-Multiplexed Differential Technique”, IEEE Sensors Journal, Vol. 15, pp. 6179-6189 (2015)
• (3) C. Yeh and K. Najafi: “CMOS Interface Circuitry for a Low-Voltage Micromachined Tunneling Accelerometer”, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 7, pp. 6-15 (1998)
• (4) K. Ishihara, C. F. Yung, A. A. Ayon, and M. A. Schmidt : “An Inertial Sensor Technology Using DRIE and Wafer Bonding with Interconnecting Capability”, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 8, pp. 403-408 (1999)
• (5) F. A. Hassania, A. F. Payamb, M. Fathipourc, and F. Farbizd : “An Adaptive Nonlinear Estimator for the MEMS Capacitive Accelerometer Based on Adaptive Input-Output Feedback Linearization”, ISDRS 2007, College Park, MD, USA (2007)

タイトルに関連する用語 (2件)： 静電容量 ,  MEMS加速度センサ